德国蔡司钨灯丝扫描电镜EVO MA10技术说明

2023年12月22日发(作者：酷路泽2022款新款售价)

德国蔡司钨灯丝扫描电镜技术文件

仪器型号：EVO MA10

北京欧波同光学技术有限公司

2017年09月07日

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目 录

一、聚焦CARL ZEISS ................................................................. 3

二、产品概述 ................................................................................. 4

三、技术参数 ................................................................................. 5

四、计划进度及培训 ..................................................................... 7

五、环境要求 ................................................................................. 8

六、质保及其他服务 ..................................................................... 9

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一、 聚焦CARL ZEISS

世界可见光及电子光学的领导企业—德国蔡司公司始创于1846年。其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。积扫描电镜领域50年及透射电镜领域60多年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：

? 第一台静电式透射电镜 (1949)

? 第一台商业化扫描电镜(1965)

? 第一台数字化扫描电镜(1985)

? 第一台场发射扫描电镜(1990)

? 第一台带有成像滤波器的透射电镜 (1992)

? 第一台具有Koehler照明的 200kV 场发射透射电镜(2003)

? 第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)

CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、扫描离子显微镜等全系列解决方案。其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。

欧波同有限公司做为Carl Zeiss 集团显微镜事业部的战略合作伙伴，在北京，上海，广州，鞍山、济南、郑州、西安等地设有营销机构和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。

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二、产品概述

扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背散射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。

扫描电镜已广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。在材料科学、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。

蔡司的EVO系列扫描电镜广泛应用于材料和生命科学领域，能够为您提供更高分辨率的图像和更丰富的组织细节；在低电压下，借助电子束减速和高分辨背散射电子成像技术获取出色的样品形貌细节。您还可以在可变环境下实时观察材料的相互作用；借助自动化工作流程实现高效应用。EVO独一无二的X射线几何学设计能确保在分析工作条件下达到最佳分辨率。

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三、技术参数

EVO MA10多功能多用途扫描电镜。EVO MA10是一台高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。系统采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高、低真空成像功能，可对各种材料表面进行分析。并且具有业界领先的X射线分析条件，样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像分析。EVO

MA10可以提供较大的X-Y样品台行程，并具有最佳的可重复性。它是颗粒和枪击残留物（GSR）分析等高效应用的理想之选。

主要参数

1、光学系统

1.1、发射源：钨灯丝。可选择普通灯丝或预对中式灯丝。具有自动电子枪启动，自动对中，自动选择电子枪偏压功能。

1.2、聚焦：具有手动及自动聚焦功能。

1.3、光阑：三级可调物镜光阑，能快速对光阑孔定位，并可作电子束自动对中。

1.4、加速电压：0.2-30kV，10V步进连续可调。

1.5、电子束位移：±20?m。

1.6、放大倍数：7-1,000,000×

1.7、分辨率：3.0nm@30kV（SE）3.5nm@30 kV（VP、SE）

1.8、探针电流范围：0.5 pA-5 μA，连续可调。

2、真空系统

2.1、真空泵系统：涡轮分子泵+机械泵，不需要冷却水。

2.2、真空度：最高真空度：优于2×10-4Pa；

超低真空压力范围：10Pa-400Pa；

在10Pa－133Pa范围内无需安装压差光阑就可实现高低真空自由切换。

2.3、抽真空时间：小于3分钟。

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3、样品室

3.1、样品室类型：高刚性、圆形、厚壁，大样品室。

3.2、样品室内部尺寸：310mm（φ）×220mm（h）。

3.3、可放置的最大样品尺寸：直径230mm，高度100mm

3.4、最大允许样品重量：不小于5kg。

3.5、样品台移动方式：5轴电动计算机优中心。

3.6、样品台移动范围：X=80mm, Y=100mm, Z=35mm,T=-10°—90°, R =360°。

3.7、样品台具有接触报警与自动停止功能。

3.8、具备样品位置感知功能。

3.9、X射线分析条件：出射角 35度；

分析工作距离：8.5 – 20 mm。

4、探测、成像系统

4.1、高真空二次电子探测器。

4.2、背散射电子探测器。

4.3、具有X射线能谱仪接口。

4.4、探测器成像模式：同时对二次电子和背散射电子成像，可用分屏方式同时显示两种图像，并可在一种图像中任意位置显示另外一种图像。

4.5、扫描方式：全屏、选区、定点、线扫描、线轮廓、扫描旋转、倾斜补偿。

4.6、整机系统控制要求独立控制单元，为检修提供方便。

4.7、图像解析度：3072x 2304像素（最大）。

4.8、图像控制：最高电子光学性能与易用性相结合的OptiBeam模式（分辨率模式、景深模式、分析模式、视场模式）。

4.9、操作系统：Windows7，灵活易用的SmartSEM扫描电镜操作控制软件。

4.10、显示器：24\" TFT

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四、计划进度及培训

交货期为收到L/C后六个月。

供方与需方配合进行：

1.设备到达需方地址后，供方在接到需方安装通知十四日内派工程师到达现场进行安装调试。

2. 安装调试完毕后，马上对用户人员进行培训。

培训内容：（1）电镜及附件的操作

（2）电镜及附件的日常维护

（3）样品观测、分析、获取图象

3. 培训方式：

前期基础操作培训：设备安装后的现场培训，为期5天左右，可根据客户需要免费延长培训时间；

中期应用培训：免费寻访指导，巩固、提高，使设备使用更加得心应手；

高级应用培训：针对客户的疑难问题，邀请资深应用专家为您免费提供解决方案。

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五、环境要求

电源

电源100-240V 50/60 Hz 单相

功耗2kVA – 3kVA（取决于安装的附件）

进来的单相电源最好是供给SEM的支线。对于SEM需要一个13安培的电源插座，另加一个用于旋转泵的插座（如果系统是带有两个旋转泵的EP，则另加两个插座）。用于附件的电源插座应连接到同一相上。它应不供给附近可能产生异常干扰的仪器。需要一个小于 1Ω接地电阻的保护接地。一根 5 米长的接地线与

EVO 一起提供，并将连接到独立的 M8 地线螺栓上。

环境温度

相对湿度

压缩氮气

为了操作者的舒适，建议室温保持在23?C和25?C之间

小于 65%

强烈建议，在样品更换期间用干燥的氮气对样品室与真空泵进气。最低压力应不小于0.2 bar；不然，对样品室进气时间将太长。最大压力必须限制在0.3 bar。在高于周围压力0.2 bar时，在样品室打开时氮气的消耗量大约是3 l/min。氮气的纯度应约为99.996%。提供的管子为 4mm 内径和 6mm 外径。

旋转泵排气 在抽真空期间，旋转泵产生油雾，在封闭环境中使用时，它能污染环境并危害健康。旋转泵上必须连接提供的油雾过滤器和/或外部排气。管子应为内经为10mm的塑料管。

震动 速度水平

<6?m/sec rms。0-30Hz

<12?m/sec rms。30 Hz以上

测量方向：X、Y、Z

杂散磁场 室内最大允许杂散磁场为3 x 10-7 T（峰-峰值）=3 mG（峰-峰值）。

环境与实用要求是用户的责任，并应在安装时提供。如果不满足这些条件，可能会对技术规格中给出的性能产生不利的影响。

ZEISS技术支持建议使用减震台和AC 磁场消除系统。

尺寸及重量：

下面提供的数据只作为指导：

ZEISS EVO?用两个包装箱来提供。

包装箱1：可重复使用的木箱

整体尺寸

整体重量

整体尺寸

整体重量

基体（无包装）

整体尺寸

整体重量

98cm 深 x 78.4cm 宽 x 158cm 高

600kg

134cm x 122cm x 205cm

708kg

140cm x122cm x 135cm

123kg

包装箱2：欧洲推荐的硬纸板箱

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六、质保及其他服务

A、规范化的服务体系：ZEISS产品售后服务具有ISO9001服务体系认证资格，执行ISO9001售后服务标准。

B、贴近用户的服务网点：ZEISS在中国设立直属专业维修中心，下设有北京、上海、广州、无锡四个专业维修站负责售后服务工作。近在咫尺的专业人士为您提供快捷、周到的服务。

1.固定维修站：在北京有15位维修工程师、无锡有10位维修工程师，上海有12位维修工程师，广州有10位维修工程师，各服务网点均有多位应用专家，向目前ZEISS的用户提供服务。

2.流动维修站：目前在新加坡有4位资深工程师及4位维修工程师，如有需要将随时协助ZEISS中国境内工程师包括安装、检修工作等，以弥补由于ZEISS用户数量短期内的急剧增加而需要的安装调试及维修工作。

3.远程遥控服务：根据我们多年在世界各地的经验，80%以上用户提出的“技术问题”都是由于用户本身，特别是电镜新用户还没有完全熟练掌握电镜的操控，或对于某些样品的测试方式不熟悉而产生的，并非电镜本身出现故障。针对此点，我们设立了远程遥控技术服务，我们的技术人员每天24小时提供热线电话技术服务，即时协助、解答操作员提出的问题。

C、完善的呼叫服务中心：ZEISS在中国设有统一的售后服务电话，对用户提出的技术及质量问题8小时内答复，如要求现场维修则24小时内到达解决。在保修期内，非人为故障免费负责修理。

D. 全国领先的保修政策：ZEISS产品质量保障期为最终验收后12个月，如果设备到货后3个月内仍未完成安装，质保期从第四个月开始算起。保修期外如需现场维修服务，厂家每天收取500美元人工费（含差旅费），如需更换部件酌情收费。

E、免税备件服务：为了保障设备的正常运作，缩短维修的时间，ZEISS将储存零备件于上海，它将包涵ZEISS电镜重要的备换件。

F、维修保证：对于所有ZEISS SEM产品，供方将提供技术维修服务和最少10年的备件供应。

G、升级保证：在硬件允许的条件下，保证软件免费升级。

报价：2225000元

优惠价：1780000元

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